表面粗糙度去除速率与研磨压力的关系
2013-03-12
衬底表面粗糙度随研磨压力的变化趋势，可以看出，随着压力的增加，表面粗糙度近似呈线性下降趋势。总体上，粗糙度值在一定的范围内变化，维持在相同的数量级上。由于240目的碳化硼颗粒度较大且有一定的分布，在压力较小时，蓝宝石衬底主要与较大的颗粒相接触，这样作用在这些颗粒上的压力大，划痕相应地较深。而且这些较大颗粒间有一定的间距，造成粗糙度较高。当增大压力后，磨料层受到挤压，较小的颗粒也能与衬底面相接触，尽管较大颗粒切入蓝宝石衬底内的深度增大，但较小的颗粒可以对较大颗粒的划痕起到整平作用，而且颗粒间距减小，因此从整体上来说，粗糙度会降低。衬底去除速率随研磨压力的变化趋势，随着压力的增大，去除速率近似呈线性上升趋势。当增大压力后，较大颗粒切入蓝宝石衬底内的深度增大，切削能力上升，而且颗粒间距减小，实际参与研磨的颗粒数增多，因此去除速率会增大。如果压力过大，磨料颗粒可能会被挤碎，研磨速率反而会下降。因此，应在适当的范围内增大研磨压力。